檢漏步驟為: 若步驟1和2均未檢出漏點(diǎn)，就要考慮各個(gè)真空泵性能的問(wèn)題，首要檢查機(jī)械泵油、羅茨泵油是否缺少，如果泵油缺少會(huì)大大降低泵的抽氣性能，其次檢查機(jī)械泵的閥片,通過(guò)向機(jī)械泵排氣口噴吹氦氣來(lái)檢測(cè)其閥片的密封性。擴(kuò)散泵油或擴(kuò)散泵加熱器異常也會(huì)造成極限壓不合格。還應(yīng)檢查真空計(jì)是否準(zhǔn)確以及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)是否滿(mǎn)足技術(shù)要求。
測(cè)試時(shí)，將定量的氦氣噴吹在懷疑可能泄漏的部位，通過(guò)觀察檢漏儀上的漏率顯示來(lái)確定該部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系統(tǒng)比較龐雜，影響真空的因素多，對(duì)此我們?cè)谠囼?yàn)前，應(yīng)先根據(jù)真空嚴(yán)密性的試驗(yàn)情況、相關(guān)系統(tǒng)及設(shè)備的運(yùn)行情況、機(jī)組的檢修情況等進(jìn)行了解分析，初步判斷真空泄漏可能發(fā)生的設(shè)備或系統(tǒng)管道的位置。然后，在試驗(yàn)過(guò)程中先對(duì)重點(diǎn)懷疑泄漏部位進(jìn)行檢查，再對(duì)其他部位按照分系統(tǒng)、分段、逐個(gè)設(shè)備部件進(jìn)行排查。
檢漏設(shè)備：質(zhì)譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)在校驗(yàn)后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時(shí)校驗(yàn)。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：航空航天——燃料箱、油箱、及各種電機(jī)等；儀表制造——壓力傳感器、閥門(mén)、波紋管和密封焊接件等。
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